ES和ED系列干式螺杆真空泵-SOLUVAC|干式螺杆真空泵|耐腐蚀真空泵|真空机组|斯路威机械（无锡）有限公司

产品描述

ES和ED系列干式螺杆真空泵是我公司针对电子半导体、锂电新能源、太阳能光伏等行业推出的干式螺杆真空泵，目前已在相关行业客户中使用，反馈良好。ES和ED系列产品包括以下型号：ES180，ES300，ES500，ES650，ES800，ED1300/180，ED1300/300，ED1500/180，ED1500/300，ED1500/500，ED2500/300，ED2500/500，ED3000/500等。

  ES和ED系列干式螺杆真空泵有以下优势：

  系统正常运行时间长
    热开关保护，耐热冲击设计，有效的冷却系统，轴承寿命长。

  工艺安全性高
    零部件少，无不平衡惯性力，转为严苛工况设计。

  出色的性能数据
  从大气压到工艺压力保持。噪音低，热辐射低。

  型号齐全
   单台泵从单台型号120m³/h到整机入口流量可达3900 m³/h。通过与罗茨增压泵搭配，可满足更大流量和真空需求。

技术参数

ES系列螺杆真空泵技术参数
型号Model		单位Unit	ES180	ES300	ES500	ES650	ES800
抽气速率Displacement		m3/hr	150 / 180	270 / 330	420 / 500	660	800
极限真空Ultimate pressure		torr	≤0.0075	≤0.0075	≤0.0075	≤0.015	≤0.015
		mBar	≤0.01	≤0.01	≤0.01	≤0.02	≤0.02
		Pa	≤1	≤1	≤1	≤2	≤2
水冷电机Water cooling motor	频率Frequency	Hz	50～60	50～60	50～60	50	50
	电压Voltage	V	380	380	380	380	380
	额定功率Ratedpower	kW	4.5	7.5	15	22	22
连接Connection	进气口 Inlet Connection		NW50	ISO63	NW80	ISO100	ISO100
连接Connection	排气口Outlet Connection		NW40	NW40	NW50	ISO63	DN65
冷却水 Cooling water	流量Flow Rate	L/min	3~7	3~7	6	6	6
	*供应压力Max. Supply Pressure	kg/c㎡	4	4	4	4	4
	温度Temperature	℃	15~30	15~30	18~20	18~20	18~20
	连接口径 Connection		RC3/8”	RC3/8”	RC3/8”	RC1/2”	RC1/2”
氮气N2	压力Pressure	MPa	0.15～0.2	0.15～0.2	0.15～0.2	0.05	0.05
	密封流量Sealing Flow	L/min	5～60	5～60	5～60	0～60	0～60
	连接口径Connection		1/4”	1/4”	1/4”	1/4”	1/4”
*漏率Pump leakage rate		Pa·m³/s	1×10^(-5)	1×10^(-5)	1×10^(-5)	1×10^(-3)	1×10^(-3)
噪声Noise Level		dB（A）	<70	<70	<75	<85	<85
重量(泵体) Weight(Bare Shaft)		kg	320	350	550	1050	1050
室温操作范围Operating temperature		℃	5~40	5~40	5~40	5~40	5~40
*操作湿度Operating humidity		RH	90%以下	90%以下	90%以下	90%以下	90%以下

ED系列螺杆真空泵技术参数
型号Model		单位Unit	ED1300/180	ED1300/300	ED1500/180	ED1500/300	ED1500/500	ED2500/300	ED2500/500	ED3000/500	ED3900/500
抽气速率Displacement		m3/hr	1050 / 1260	1100 / 1400	1200 / 1500	1350 / 1600	1600 / 2000	2000 / 2500	2200 / 2600	2500 / 3000	3900
极限真空Ultimate pressure		torr	≤0.00075	≤0.00075	≤0.00075	≤0.00075	≤0.00075	≤0.00075	≤0.00075	≤0.00075	≤0.00075
		mBar	≤0.001	≤0.001	≤0.001	≤0.001	≤0.001	≤0.001	≤0.001	≤0.001	≤0.001
		Pa	≤0.1	≤0.1	≤0.1	≤0.1	≤0.1	≤0.1	≤0.1	≤0.1	≤0.1
水冷电机 Water cooling motor	频率Frequency	Hz	50～60	50～60	50～60	50～60	50～60	50～60	50～60	50～60	75
	电压Voltage	V	380	380	380	380	380	380	380	380	380
	额定功率Ratedpower	kW	4.5+4.5	4.5+7.5	4.5+4.5	4.5+7.5	4.5+15	7.5+7.5	7.5+15	7.5+15	22+15
连接 Connection	进气口 Inlet Connection		ISO160	ISO160	ISO160	ISO160	ISO160	ISO200	ISO200	ISO200	ISO200
连接 Connection	排气口Outlet Connection		NW40	NW40	NW40	NW40	NW50	NW50	NW50	NW50	NW63
冷却水 Cooling water	流量Flow Rate	L/min	3~7	3~7	3~7	6	6	6	6	6	6
	*供应压力Max. Supply Pressure	kg/c㎡	4	4	4	4	4	4	4	4	4
	温度Temperature	℃	15~30	15~30	15~30	15~30	15~30	15~30	15~30	15~30	15~30
	连接口径 Connection		RC3/8”	RC3/8”	RC3/8”	RC3/8”	RC3/8”	RC3/8”	RC3/8”	RC3/8”	RC3/8”
氮气N2	压力Pressure	MPa	0.15～0.2	0.15～0.2	0.15～0.2	0.15～0.2	0.15～0.2	0.15～0.2	0.15～0.2	0.15～0.2	0.15～0.2
	密封流量Sealing Flow	L/min	5～60	5～60	5～60	5～60	5～60	5～60	5～60	5～60	5～60
	连接口径Connection		1/4”	1/4”	1/4”	1/4”	1/4”	1/4”	1/4”	1/4”	1/4”
*漏率Pump leakage rate		Pa·m³/s	1×10^(-5)	1×10^(-5)	1×10^(-5)	1×10^(-5)	1×10^(-5)	1×10^(-5)	1×10^(-5)	1×10^(-5)	1×10^(-3)
噪声Noise Level		dB（A）	<70	<70	<70	<70	<70	<70	<70	<70	<70
重量(泵体) Weight(Bare Shaft)		kg	540	550	540	550	570	560	730	1000	1500
室温操作范围Operating temperature		℃	5~40	5~40	5~40	5~40	5~40	5~40	5~40	5~40	5~40
*操作湿度Operating humidity		RH	90%以下	90%以下	90%以下	90%以下	90%以下	90%以下	90%以下	90%以下	90%以下

行业应用

ES和ED系列产品可满足相关用户高真空、高可靠性等需求，耐受各种不断变化的严苛工艺环境。

应用

• 电子半导体
用于芯片、液晶面板、PLASMA，ALD/CVD等严苛工艺制程
• 锂电新能源
用于合浆、注液、烘烤等工艺制程
• 太阳能光伏
用于拉晶、镀膜、组件层压等工艺制程

等等 …